반도체 리소그래피 공정 조명 선택 방법(T8 Yellow LED Tube Lighting Anti UV LED Tube)
1. 밝기 요구 사항
반도체 리소그래피 공정에서 조명 광원은 칩의 이미징 품질을 보장하므로 밝기 요구 사항이 매우 중요합니다. 일반적으로 포토리소그래피 노출에 필요한 밝기는 100-150mW/cm²입니다. 밝기가 너무 낮으면 노출 부족이 발생하고 칩 이미징의 선명도와 정확성에 영향을 미칩니다.
2. 통일성 요구사항
밝기 요구 사항 외에도 조명의 균일성도 중요한 요소입니다. 포토리소그래피 공정에서 균일성은 프로젝터 전체의 밝기 분포 차이를 의미합니다. 일반적으로 균일성 요구 사항은 1%에서 3% 사이입니다. 균일성이 불충분하면 칩의 노출이 고르지 않아 이미지의 선명도와 정확성에 영향을 미칠 수 있습니다.
3. 색온도 요구 사항
조명의 색온도는 조명 빛의 색상을 나타냅니다. 반도체 리소그래피 공정에서는 색온도의 선택도 매우 중요합니다. 일반적으로 색온도 요구 사항은 3500K-5000K 사이입니다. 색온도가 너무 낮거나 높으면 칩의 영상 선명도와 정확도가 떨어질 수 있습니다.
간단히 말해서, 반도체 리소그래피 공정의 조명 요구 사항은 매우 중요하며 밝기, 균일성, 색온도 등의 측면에서 특정 요구 사항을 충족해야 합니다. 조명 품질을 보장해야만 칩의 품질과 정확성을 더 잘 보장할 수 있습니다. 이미징.
구체적인 세부 매개변수:
1.100% 자외선 차단(필터 파장 < 500nm).
2.독일의 소재 기술 개선.
3.PC 원료 V2 난연 등급.
4.Epistar LED 칩 100-120lm/w,1500K -2000K
5. 내장형 절연 전원 루비콘 커패시터.
6. 노란색 투명 및 서리 덮개를 사용할 수 있습니다.
https://www.benweilight.com/lighting-tube-bulb/special-t8-led-tube/
