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깨끗한 평면 조명을 위한 리소그래피 도광판

과학 기술의 발달로 도광판의 제조 방법이 점차 개선되어 초기 인쇄 유형과 달리 "비 인쇄 유형"이라고합니다.


포토리소그래피

리소그래피 기술은 평평한 실리콘 웨이퍼에 내식성 포토 레지스트 층을 코팅 한 다음 강한 빛을 포토 레지스트를 통과시키고 생성 된 특정 층의 패턴 정보에 따라 포토 레지스트에 선택적으로 노광하는 것입니다. 실리콘 웨이퍼는 미세 패턴 구조의 필름이 남습니다. 포토리소그래피 방식으로 제조된 도광판의 표면 거칠기가 불량하고 광에너지 손실이 상대적으로 크다.

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