포토리소그래피란 무엇입니까?
포토리소그래피는 집적 회로(IC 또는 칩) 생산의 중요한 공정 중 하나입니다. 쉽게 말하면 포토마스크와 포토레지스트를 이용해 기판에 회로 패턴을 복사하는 공정이다.
기판은 이산화규소 절연층과 포토레지스트 위에 칠해집니다. 포토레지스트는 자외선에 노출된 후 현상액으로 쉽게 용해될 수 있으며, 용해 및 에칭 후에는 회로 패턴이 기판에 남게 됩니다.
포토레지스트란 무엇입니까? 왜 500nm UV 파장을 차단해야 합니까?
포토레지스트는 수지, 용제, 첨가제와 결합됩니다. 포토레지스트의 감광 범위는 200nm-500nm입니다. 따라서 많은 반도체 실험실에서는 포토레지스트가 과다 노출되거나 조기에 노출되는 상황을 방지하기 위해 500nm UV 파장을 차단하는 황색광을 채택할 것입니다.
